정부가 반도체 핵심 공정에 사용되는 극자외선(EUV) 노광장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화한다. 이에 따라 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들의 첨단 생산라인 구축 속도가 빨라질 전망이다.
산업통상부는 2일 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하는 내용을 담은 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다.
이번 개정안에 따라 EUV 장비 도입에 필요한 기술검토와 검사 절차가 간소화되면서 장비 도입 기간은 기존보다 최대 25일 단축된다. 이에 따라 장비 설치에 소요되는 기간은 34일에서 9일로 줄어들게 된다. 해외 공인검사기관의 내압·기밀 검사 비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 예상된다.
산업부는 이번 제도 개선으로 국내 반도체 기업들이 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 신속하게 생산라인을 가동할 수 있게 돼 글로벌 경쟁력 확보에 도움이 될 것으로 기대하고 있다.
그동안 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 장치가 포함돼 있다는 이유로 현행 법령상 '고압가스 제조설비'로 분류돼 왔다. 이에 따라 장비를 설치할 때마다 기술검토와 검사를 받아야 해 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 커진다는 지적이 제기돼 왔다.
산업부는 반도체 업계와 수차례 협의를 거쳐 현장 의견을 수렴하고 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계를 검토한 결과, EUV 장비를 기존 '고압가스 제조시설'에서 '특정설비'로 전환해 관리하는 방안을 마련했다.
정부는 EUV 장비를 특정설비로 지정하는 대신 3년 주기의 공장심사와 종합공정검사를 실시해 제조사의 품질관리 역량을 확인하는 방식으로 기존과 동등한 수준의 안전성을 확보할 계획이다.
산업부는 시행령 개정과 함께 시행규칙 개정도 추진한다. 우선 물과 세탁세제 대신 액화 이산화탄소를 활용하는 친환경 '액화 이산화탄소 세정설비'가 국내에서 처음 상용화될 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설한다. 해당 설비는 폐수 처리나 배기 정화시설이 필요 없고 의류에 유해 잔여물이 남지 않는 친환경 세탁 방식으로, 2022년부터 규제샌드박스를 통해 안전성을 검증받았다.
또 상업용 액화 이산화탄소 세정설비와 고압가스 저장시설 등 위험성이 상대적으로 낮은 시설에 대해서는 안전관리자 선임 자격요건을 완화해 현장 부담을 줄일 예정이다.
이번 개정안은 다음 주 중 공포 후 즉시 시행된다. 김정관 산업통상부 장관은 "이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며 "앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적인 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다"고 말했다.
산업통상부는 2일 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하는 내용을 담은 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다.
이번 개정안에 따라 EUV 장비 도입에 필요한 기술검토와 검사 절차가 간소화되면서 장비 도입 기간은 기존보다 최대 25일 단축된다. 이에 따라 장비 설치에 소요되는 기간은 34일에서 9일로 줄어들게 된다. 해외 공인검사기관의 내압·기밀 검사 비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 예상된다.
산업부는 이번 제도 개선으로 국내 반도체 기업들이 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 신속하게 생산라인을 가동할 수 있게 돼 글로벌 경쟁력 확보에 도움이 될 것으로 기대하고 있다.
그동안 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 장치가 포함돼 있다는 이유로 현행 법령상 '고압가스 제조설비'로 분류돼 왔다. 이에 따라 장비를 설치할 때마다 기술검토와 검사를 받아야 해 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 커진다는 지적이 제기돼 왔다.
산업부는 반도체 업계와 수차례 협의를 거쳐 현장 의견을 수렴하고 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계를 검토한 결과, EUV 장비를 기존 '고압가스 제조시설'에서 '특정설비'로 전환해 관리하는 방안을 마련했다.
정부는 EUV 장비를 특정설비로 지정하는 대신 3년 주기의 공장심사와 종합공정검사를 실시해 제조사의 품질관리 역량을 확인하는 방식으로 기존과 동등한 수준의 안전성을 확보할 계획이다.
산업부는 시행령 개정과 함께 시행규칙 개정도 추진한다. 우선 물과 세탁세제 대신 액화 이산화탄소를 활용하는 친환경 '액화 이산화탄소 세정설비'가 국내에서 처음 상용화될 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설한다. 해당 설비는 폐수 처리나 배기 정화시설이 필요 없고 의류에 유해 잔여물이 남지 않는 친환경 세탁 방식으로, 2022년부터 규제샌드박스를 통해 안전성을 검증받았다.
또 상업용 액화 이산화탄소 세정설비와 고압가스 저장시설 등 위험성이 상대적으로 낮은 시설에 대해서는 안전관리자 선임 자격요건을 완화해 현장 부담을 줄일 예정이다.
이번 개정안은 다음 주 중 공포 후 즉시 시행된다. 김정관 산업통상부 장관은 "이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며 "앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적인 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다"고 말했다.