단국대, 국내 대학 최고 수준의 '반도체 클린룸 센터' 개소

단국대학교는 지난 7일 죽전캠퍼스에 K-반도체를 이끌 전문인력 양성을 위한 'DKU 클린룸 센터'를 개소했다고 8일 밝혔다.

개소식에는 황준기 용인 제2부시장, 이상기 DB하이텍부사장, 안기현 반도체산업협회 전무이사, 안순철 총장, 김오영 교학부총장, 구용서 차세대반도체사업단장, 강정원 반도체전문인력양성사업단장 등이 참석했다.

DKU 클린룸 센터는 죽전캠퍼스 대학원동 6층에 총바닥면적 926㎡ 규모로 조성됐다. 클린룸, 분석계측실, 공정실습실1·2, 가스저장실, 장비분석실, 강의실 등을 갖췄다. 설계부터 소자·공정, 테스트·후공정까지 원스톱으로 반도체 이론·실습 교육이 가능하다.

이를 위해 ▲반도체 소자의 전기적 특성 평가·분석 장비인 '프로브스테이션 및 반도체칩 특성 평가 장비' ▲시료의 표면 특성을 나노 단위로 분석하는 '고해상도 주사형 원자력 현미경' ▲고에너지 자외선인 I-line을 사용해 Mask(패턴이 그려진 유리판)에 새겨진 회로 패턴을 웨이퍼 표면에 형성하는 '6인치 웨이퍼 UV(자외선) 노광장비' ▲전자빔으로 재료를 증발시켜 웨이퍼 박막을 증착하는 '고에너지 전자빔 박막 증착기'를 도입했다.

또한 ▲고온으로 재료를 증발시켜 기판에 박막을 증착하는 '진공열 증착기' ▲웨이퍼를 짧은 시간 고온에 노출해 물리·화학적 변화를 유도하는 '급속 열처리 시스템' ▲플라스마를 이용해 이온화된 가스를 타겟에 충돌해 박말을 증착하는 '스퍼터 시스템' ▲플라스마를 이용해 화학반응과 물리적 충돌로 박말을 식각하는 '반응성 이온 식각 시스템'도 구축했다.

앞으로 단국대는 삼성전자, SK하이닉스 등 반도체 메가 클러스터가 조성되는 용인의 뛰어난 입지를 바탕으로 전공자·비전공자·기업 재직자를 위한 산·학 협력 현장 실무형 교육과정을 운영할 계획이다. 기업들은 센터의 기술·장비 솔루션을 통해 설계부터 후공정에 이르기까지 최적화된 기술지원을 받게 된다. 공동연구도 추진한다.

기업·연구기관을 위한 DKU 클린룸 센터 장비 예약시스템은 다음 달 오픈한다.

단국대는 오는 2027년까지 3단계에 걸쳐 클린룸을 고도화할 예정이다. 70여 종 이상의 공정 설비와 계측 설비를 구축해 24시간 운영한다.

안순철 총장은 "국내 대학 중 최고 수준의 반도체 클린룸을 갖춘 단국대는 현장 맞춤형 반도체 인재 양성에 박차를 가할 계획"이라며 "반도체 메가 클러스터가 조성되는 경기 남부권에 지·산·학·연을 잇는 차세대 반도체 연구·개발(R&D) 허브로 발전시켜 나가겠다"고 강조했다.

한편 단국대는 반도체 산업 분야 핵심인재 양성을 위해 '차세대반도체사업단'을 창단했다. 융합반도체공학과(학부), 파운드리공학과(대학원)를 신설해 반도체 소자·재료·공정·회로설계·신뢰성평가 등 특화된 교육과정을 제공한다. △반도체소부장혁신융합대학사업 △첨단산업인재양성부트캠프사업 △반도체전공트랙사업 등 정부지원 사업도 수행하고 있다.