램테크놀러지, 초고순도 인산 양자 정제 기술 특허 출원

반도체 공정용 화학소재 전문기업 램테크놀러지는 '반도체 공정용 초고순도 인산 양자(Quantum) 정제 기술'에 대한 특허 5건을 출원했다고 9일 밝혔다.

램테크놀러지가 이번에 특허 출원한 기술은 불순물이 포함된 인산으로부터 순수 인산을 분리‧정제하는 기술이다. 

▲온도 제어 ▲상온 정제 ▲자기장 ▲회전 성장 ▲분할 투입 등 다섯 가지 정제 기술을 활용해 순수한 인산 분자들 간 결합을 최적화시키고 불순물을 제거해 초고순도 인산 정제가 가능하다.

인산은 반도체 식각액 등 다양한 산업군에서 사용되고 있지만 저순도 인산이 대부분인 반면, 고객사에서는 보이지 않는 불순물에 기인된 불량 등 소재에 대한 품질 관리 요구가 지속적으로 높아지고 있어 저순도 인산을 초고순도로 정제할 수 있는 인산 양자 정제 기술을 개발했다고 회사 측은 설명했다.

램테크놀러지 측은 자사가 개발한 기술을 활용할 경우 정제 효율은 평균 대비 약 2배 이상 높아질 것으로 내다봤다. 품질 수준 향상 및 원가 경쟁력 또한 확보할 수 있을 것으로 기대했다.

회사 관계자는 "양자 거동 제어를 통한 인산 정제 기술을 통해 초고순도 인산을 확보할 수 있게 됐다는 점에서 의미가 크다"라며 "올해 하반기 특허 등록을 목표로 하고 있다"라고 말했다.