반도체 핵심장비 제조사 경영진 미팅 최첨단 반도체 생산 위한 장비 공급 확대 논의중장기 사업 방향성 등 폭넓은 협의도
  • ▲ 이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML CEO와 협력 방안을 논의했다.ⓒ삼성전자
    ▲ 이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML CEO와 협력 방안을 논의했다.ⓒ삼성전자
    이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지 시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 방문해 피터 베닝크(Peter Wennink) CEO, 마틴 반 덴 브링크(Martin van den Brink) CTO 등 경영진을 만나 양사 간 협력 강화 방안을 논의했다.

    이재용 부회장과 ASML 경영진은 ▲미래 반도체 기술 트렌드 ▲반도체 시장 전망 ▲차세대 반도체 생산을 위한 미세공정 구현에 필수적인 EUV 노광 장비의 원활한 수급 방안 ▲양사 중장기 사업 방향 등에 대해 폭넓게 협의했다.

    이 부회장이 네덜란드 ASML 본사를 찾은 것은 지난 2020년 10월 이후 20개월 만이며, 이번 미팅에는 경계현 삼성전자 DS부문장이 배석했다.

    삼성전자는 ▲반도체 연구개발 및 투자 확대 ▲ASML과의 기술 협력 강화 등을 통해 EUV를 비롯한 차세대 반도체 생산 기술을 고도화시켜 파운드리 분야의 경쟁력을 키우고 메모리 반도체 분야의 '초격차'도 더욱 확대해 나갈 계획이다.

    EUV 노광 기술은 극자외선으로 반도체에 회로를 새기는 기술로 기존 불화아르곤 노광공정이 가진 미세화 한계 극복을 위해 필수적이다. EUV 노광 기술을 활용한 반도체 생산 장비는 최첨단 고성능·고용량·저전력 반도체 생산에 없어서는 안될 중요 요소다.

    이에 이 부회장이 '반도체 초격차'를 위해서는 안정적인 EUV 장비 수급이 중요하다는 판단에 따라 직접 EUV 확보전에 뛰어든 것이다.

    업계에서는 이재용 부회장이 EUV 장비 확보에 직접 나서면서 삼성전자가 ASML 장비 확보에 유리한 고지를 선점했다는 시각이다. 이 부회장은 ASML 장비 확보를 통해 해결사로서의 면모를 보였으며, 삼성과 ASML의 파트너십을 공고히 함으로써 이 부회장의 글로벌 네트워크 진가가 발휘됐다고 평가했다.

    이재용 부회장과 ASML 경영진은 한국과 네덜란드에서 수시로 만나 ▲기술 로드맵과 ▲중장기 사업 계획 등을 공유하며 전략적 협력 관계를 유지해 왔다.

    이 부회장은 2020년 10월 ASML 본사를 찾아 미래 반도체 기술 협력 강화 방안을 논의했으며, EUV 반도체 생산장비 제조현장을 직접 찾아 삼성전자의 반도체 공장에 사용될 신형 장비를 살펴봤다.

    삼성전자는 반도체 미세화 기술의 한계를 극복하기 위해 2000년대부터 ▲반도체 제조 공정 ▲장비 개발 분야에서 ASML과 협력해 왔으며 2012년에는 ASML 지분 투자를 통해 파트너십을 강화하기도 했다.

    2016년 11월에는 베닝크 CEO 등 ASML 경영진이 삼성전자를 방문해 차세대 EUV 기술 개발 현황을 설명하고 중장기 투자 계획에 대한 의견을 나누기도 했다.

    삼성전자는 화성·평택 반도체 생산라인에서 EUV 기술을 적용해 파운드리 고객사 제품과 고성능 D램을 생산하고 있다.

    업계에서는 반도체 장비 업계의 '절대강자'인 ASML과의 파트너십은 제조사들의 최우선 과제 중 하나로 이 부회장의 지속적인 관심과 정성이 있었기에 양사가 전략적인 협력관계로 발전한 것으로 봤다.