불량, 오작동 막기 위해 기준치 넘으면 '먼지 주의보'기압 높이거나 출입문 관리 등 대처 수준 높아져
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반도체 업계가 '먼지' 관리에 비상이 걸렸다. 중국발 미세먼지 공습은 한풀 꺾였지만, 올해 황사가 지난해보다 강력하다는 예보가 나오고 있기 때문이다.
작은 먼지 하나가 들어가도 공정의 문제가 생길 수 있기에 반도체 업계는 그 어느 때보다 관리강화에 집중하는 분위기다.
4일 업계에 따르면 반도체 회사들은 미세먼지와 황사로 인한 시설관리에 힘을 쏟고 있다. 시설 중에서도 '클린룸' 관리가 시급하다. 클린룸은 아주 작은 미세먼지로 발생하는 불량과 고장을 막아주는 중요한 공간이기 때문이다.
올해는 지난해보다 강한 황사가 온다는 예고가 나오자 업계도 관리감독을 강화하고 있다. 글로벌 반도체 업체인 삼성전자와 SK하이닉스가 클린룸 지키기에 나선 것이다. 제조사마다 정한 황사 기준을 통해 관리 시스템을 적용하고 있다.
삼성전자는 먼지가 1㎥(입방미터) 당 300mg이상이 되면 비상체제에 돌입한다. 반도체 공정상 공기는 다 정화돼 들어가긴 하지만 기준치를 넘기면 특별 관리를 실시하게 된다.
라인의 기압을 평상시보다 높이는 방법이 있다. 높은 곳에서 낮은 곳으로 이동하는 기압의 특징을 이용한 것이다. 평상시 외부기압을 1이라고 할 때, 라인은 1.05정도로 유지하는 게 보통이다. 하지만 황사가 기준치를 넘기면 1.05~1.1 정도로 기압을 높인다. 원천적으로 먼지를 차단하기 위한 방법이다.
에어샤워 시간을 15초에서 30초로 늘리기도 한다. 삼성전자는 황사를 예의주시하면서 발 빠르게 관리 시스템을 적용하고 있다.SK하이닉스도 마찬가지다. 출입문을 통제하고 에어샤워 시간을 늘리는 등 능동적인 대처를 펴고 있다. 출입문 통제를 강화하면서 클린룸에 대한 관리 감독도 강화한다.
하지만 우리 기업들의 황사 대처수준은 우려하는 것보다 높은 수준이다. SK하이닉스 관계자는 "예전부터 반도체 공장은 청정도 유지를 위해서 운영돼 왔기 때문에 특별히 비상가동은 없다"면서 "클린룸도 여러 겹으로 처리돼 있고 평상시 관리도 잘 돼 있어 우려하는 것만큼 큰 걱정은 없다"고 했다.
[사진=삼성전자, SK하이닉스 CI]
