클린룸 입장 시 '방진복·시틱키 매트·에어워시' 절차 반드시 통과해야청소용 와이퍼에 세균 잡는 퓨리케어 등 다양한 보조장치까지


  • 반도체와 디스플레이 생산 공정은 말 그대로 먼지에 쥐약이다. 나노 단위의 초미세작업이 진행되는 만큼 아주 작은 먼지 한 톨이 불량품으로 연결될 수 있기 때문이다.

    삼성전자가 수년전 세계 최초로 반도체 생산라인을 언론에 공개했을 당시에도 만일의 불량을 대비해 생산된 제품 상당수를 폐기처분했을 정도다. 이에 따라 반도체와 디스플레이 생산시설의 경우 먼지를 없애는데 총력을 기울이고 있다.

    25일 관련업계 관계자에 따르면 반도체 생산 라인을 구경하려면 최소 3단계의 절차를 거쳐야 한다.

    먼저 방진복과 방진화, 방진마스크, 방진모, 장갑 등 소모품들을 몸에 착용해야 한다. 이들 제품 모두 먼지가 잘 달라붙지 않은 소재로 만들어져 있다.


  • 그런 다음 시틱키(sticky)라는 매트를 방진화로 밟아 발에 묻은 먼지를 털어내야 한다. 발쪽에 먼지가 묻을 가능성이 큰 만큼 이 절차를 별도로 거치는 것이다.

    마지막으로 작업자 몸 전체에 강한 바람을 내뿜어 먼지를 제거하는 에어워셔라는 과정도 마쳐야 한다.

    이 같은 절차를 모두 통과하고 나면 반도체 라인이 웅장한 자태를 드러내고 있는 클린룸(clean room)에 들어갈 수 있다.

    클린룸도 먼지를 빨아드리는 여러 개 장치들로 에워 쌓여있다. 혹시 모를 먼지 유입까지 철저히 봉쇄하고 있는 것이다.

    이밖에도 먼지를 막기 위한 다양한 보조 장치들이 존재한다. 반도체 글라스를 닦아내거나, 공장 내 물기를 빨아드릴 수 있는 와이퍼(wipers)가 대표적 예다.

    와이퍼는 일반 가정에서 사용하는 걸레라고 보면 된다. 다만 반도체나 디스플레이 공장에서는 걸레를 쓸 수 없기 때문에 와이퍼를 대신 사용한다.

    와이퍼 둘레부분은 초음파를 이용해 일정한 간격으로 마감 처리돼 있어 글라스를 닦아도 상처가 나지 않는다. 물기 흡수능력 또한 탁월하다.

    먼지 뿐 아니라 세균을 잡기 위한 약품도 클린룸 내부에 배치돼 있다.

    클린룸 내 소모품 제작 전문회사 케이엠(km)의 '퓨리케어(Puricare)'는 질병을 유발할 수 있는 대부분의 일반세균과 인플루엔자 바이러스를 15초 이내에 99.99% 살균한다.

    이 제품은 클린룸에 들어갈 때나 작업 도중 손을 세척하는 용도로 쓰인다.

    관련업계 관계자는 "10여년 전부터 반도체와 디스플레이 공장의 경우 클린룸을 비롯한 여러 먼지제거 장치를 운영하고 있다"며 "황사철이라고 해서 별도의 대비책을 마련하지 않아도 될 정도로 현재 관련 기술력이 많이 발전했다"고 말했다.