연구자 사기 증진 위해 2013년부터 매년 개최'고주파 플라즈마' 생성 특허 부산대 이호준 교수 최우수상 수상
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SK하이닉스는 제9회 산학연구과제 우수발명 포상을 실시했다고 3일 밝혔다.최우수상은 부산대 이호준 교수가, 우수상은 울산과학기술원 노삼혁 교수, 장려상은 이화여대 박찬혁 교수, 연세대 노원우 교수, 성균관대 전정훈 교수가 받는다.이호준 교수는 '이온 소스 헤드 및 이를 포함하는 이온 주입 장치' 특허로 최우수상을 수상했다. 본 특허는 고진공, 저유량에서도 고주파 플라즈마를 생성할 수 있어 기존 대비 플라즈마 효율을 향상시키고, 이온 소스 사용주기를 2배 이상 개선해 비용을 절감하는 장점이 있어 기술적으로 높은 평가를 받았다.SK하이닉스는 산학협력 대학교가 연구과제 수행과정에서 출원한 특허 중 우수특허를 선별해 연구자의 사기를 북돋우고 개발을 장려하기 위해 2013년부터 매년 포상식을 열고 있다.올해는 코로나19로 인해 SK하이닉스 구성원들이 수상자 학교를 직접 찾아가 상패를 전하는 방식으로 포상식을 진행했다.