• ▲ NF3 관련 자료사진.ⓒ효성
    ▲ NF3 관련 자료사진.ⓒ효성


    효성이 최근 증설한 삼불화질소(NF3) 생산 공장에서 사고가 발생했다.

    3일 회사 관계자는 "오전 10시30분 울산시에 위치한 공장에서 NF3가 누출되면서 현장 근로자가 다치는 사고가 있었지만 다행히 생명에는 지장이 없는 상황"이라고 설명했다.

    또 이 관계자는 "현재 공장 가동은 멈춘 상태"며 "사고 원인을 파악하고 있다"고 덧붙였다.  

NF3는 반도체 제조 공정에서 발생하는 이물질을 제거하는데 사용하는 산화제로 효성은 최근 늘어나는 NF3의 수요에 맞춰 생산량을 늘렸다.

효성은 연간 2000t을 생산하던 기존 NF3 공장의 생산 능력을 지난 3월 3250t까지 끌어올리는 증설 작업을 완료했다.

업계는 효성이 NF3 공장 증설 과정에서 문제가 생긴 것으로 보고 있다.

기존 2000t을 생산하는 공장 옆에 1250t을 생산할 수 있는 신규 공장을 만들어 배관으로 연결해 한 공장으로 만드는 증설 작업에는 안전 문제가 발생할 가능성이 있다는 것이 업계의 지배적 시각이다.

하지만 아직 정확한 사고 원인과 피해 규모는 알려지지 않고 있다. 효성은 현재 본사 관계자는 사고 현장에 투입해 사고 경위를 파악하고 있다.

효성은 NF3 생산에서 SK머티리얼즈와 함께 높은 세계 시장 점유율을 확보하고 있다. 

연간 7600t의 NF3를 생산하며 세계 시장 점유율 40%를 기록하고 있는 SK머티리얼즈에 이어 세계 2위 NF3 생산 업체를 노리고 있는 효성이다.