삼성전자, 온실가스 감축 앞장…국내서만 123만t 줄여

삼성전자가 다양한 신기술을 활용해 온실가스를 줄이는 데 앞장서고 있다.

삼성전자는 지난 한 해 동안 국내 사업장에서만 온실가스 123만t을 감축했다고 21일 밝혔다.

보통 잣나무 323그루가 온실가스 약 1t을 줄이는 것으로 알려져 있다. 이를 근거로 계산하면 삼성전자의 이번 감축량은 서울시 두 배 면적에 약 4억 그루의 잣나무 묘목을 심은 것과 맞먹는 효과다.

이 같은 성과에는 비결이 있다. 삼성전자는 친환경 대체 물질을 개발해 온실가스 사용량을 기존 대비 4% 선까지 낮췄다. 'NF3 공정 최적화'라는 전매특허 기술을 적용한 것이다.

김경아 삼성전자 DS부문 환경안전팀 차장은 "반도체 공정에서 온실가스 배출량을 줄이려면 FC가스 사용을 줄이는 게 관건"이라며 "반도체 증착 공정 중 웨이퍼 표면 세정에 일반적으로 쓰이는 사불화탄소(CF₄)를 삼불화질소(NF3)로 대체하는 공정 기술을 개발, 온실가스 사용량을 기존 대비 4% 수준까지 낮췄다"고 말했다.

사불화탄소는 탄소배출권 거래 대상 온실가스 중 하나인 과불화탄소의 일종이다. 삼불화질소는 반도체와 LCD 공정 장비 세정에 쓰이는 특수 가스다. 암모니아와 불소를 추출, 정제해 만든다.

FC가스의 경우 불소가스(F-gas)와 더불어 지구온난화 현상을 일으키는 대표적 온실가스로 불린다.

또 다른 비법은 'FC가스 처리 설비'다. 이 설비는 지난 2007년 삼성전자와 삼성엔지니어링의 합작으로 탄생했다. 온실가스를 분해하는 역할을 담당한다.

하지만 온실가스를 분해하려면 높은 온도로 가열해야 하는데, 이 과정에서 상당한 양의 에너지가 소모되는 것으로 전해졌다.

윤등기 삼성전자 DS부문 퍼실리티(Facility)팀 FT기술그룹 차장은 "자체 개발한 '촉매열삭막' 기술로 기존보다 낮은 온도에서 온실가스를 분해, 에너지 발생량을 현저히 낮춰 온실가스 감축 과정 자체를 친환경화했다"며 "FC가스 처리 설비 등 독자적 대기오염 방지 설비 기술을 도입하고 이를 꾸준히 개선, 사업장에서 발생하는 온실가스를 (기존 물질 대비) 90% 이상 처리할 수 있게 됐다"고 설명했다.

삼성전자는 그동안 지구온난화로 대표되는 기후 변화 문제를 해결하기 위해 1990년대부터 다각도로 노력해 왔다.

삼성그룹은 지난 1992년에 '삼성환경선언'을 발표하며 녹색경영의 첫 삽을 떴다. 삼성전자도 이에 발맞춰 녹색경영을 21세기 경영 화두로 선정, 지속 가능한 사회 구현에 박차를 가하고 있다.

삼성전자는 오는 2020년까지 온실가스 누적 감축량 2억5000만 톤 달성할 목표다.