6비트 구현하는 3D VRRAM 소자 개발단일 셀에 64개 세분화 상태 구현국제학술지 '어드밴스드 펑셔널 머티리얼즈' 게재
  • ▲ 동국대 전자전기공학과 김성준 교수(왼쪽)와 나혜성 석사과정생.ⓒ동국대
    ▲ 동국대 전자전기공학과 김성준 교수(왼쪽)와 나혜성 석사과정생.ⓒ동국대
    동국대학교는 전자전기공학과 김성준 교수 연구팀이 정밀한 펄스 프로그래밍 기법을 활용해 3차원 수직 적층형 저항성 메모리(VRRAM) 소자에서 6비트(64단계)의 세분화 상태를 구현하는 데 성공했다고 10일 밝혔다.

    멀티비트 메모리의 신뢰성과 제어성을 높여 차세대 메모리 기술의 새로운 기준을 제시했다는 평가다.

    연구팀은 Pt/TiOₓ/TiN 구조의 3D VRRAM 소자에 'ISPVA(증분형 스텝 펄스 검증 알고리즘)'를 적용해 소자 간 편차와 층간 불균일성으로 인해 다층 구조에서 발생하는 정밀 제어의 어려움을 극복했다. 또한 단일 셀에서 64개의 저항 상태를 안정적으로 구현하는 데 성공했다.

    연구팀은 구현된 각 상태에 대해 내구성과 유지력을 실험적으로 검증했다. 정밀 멀티레벨 메모리 소자의 실용 가능성과 신뢰성을 입증했다.

    김 교수는 "나혜성 학생이 서울대 반도체공동연구소와 동국대 MINT 팹 장비를 활용해 직접 소자를 제작하고, 연구실 내 키슬리(Keithley) 측정장비로 ISPVA 알고리즘을 적용해 다층 상태를 구현했다"며 "이번 연구 결과는 기존의 단순 이진 저장 방식을 넘어 멀티비트 메모리로 저장 방식을 확장하는 중요한 성과로, 고신뢰 멀티비트 메모리 구현의 중요한 이정표가 될 것"이라고 말했다.

    이번 연구 성과는 나노·반도체 기술 분야의 저명한 국제학술지 '첨단 기능성 소재(Advanced Functional Materials)'에 지난달 온라인 게재됐다. 김 교수가 교신저자, 나혜성 석사과정생이 제1저자로 참여했다.

    이번 연구는 한국연구재단 중견연구 사업 '축적컴퓨팅 구현을 위한 리텐션 조절 가능한 하프늄 기반 강유전체 소자 기술 및 수직적층 집적공정 개발'과 글로벌 기초연구실 '뉴로모픽 기술 기반 모빌리티 배터리 PHM 글로벌 기초연구실'의 지원을 받아 수행됐다.
  • ▲ 동국대학교 전경. 우측 하단은 윤재웅 총장.ⓒ동국대
    ▲ 동국대학교 전경. 우측 하단은 윤재웅 총장.ⓒ동국대